1.濕電子化學(xué)品廢氣簡(jiǎn)述

濕電子化學(xué)品，又稱超凈高純化學(xué)品，是指主體成分純度大于99.99%，雜質(zhì)離子和微粒數(shù)符合嚴(yán)格要求的化學(xué)試劑的總稱，主要包括刻蝕液、剝離液、清洗液、顯影液。

近年來(lái)，濕電子化學(xué)品成為了超大規(guī)模集成電路（IC）制造業(yè)深入、快速發(fā)展中越來(lái)越不可缺少的、支撐其新技術(shù)發(fā)展的重要輔助材料。因此，它也成為在電子化學(xué)品中需求量大幅度增加、產(chǎn)量與技術(shù)高速發(fā)展的一類產(chǎn)品。濕電子化學(xué)品目前廣泛應(yīng)用在平板顯示、LED、太陽(yáng)能電池、光磁記錄存儲(chǔ)體產(chǎn)品等領(lǐng)域中，并且在這些新型應(yīng)用領(lǐng)域中發(fā)展前景廣闊。但是濕電子化學(xué)品在生產(chǎn)過(guò)程產(chǎn)生氯化氫、氮氧化物、醋酸、VOCs等廢氣污染物，這些廢氣污染物，如果未經(jīng)過(guò)收集凈化處理，直接排放進(jìn)入大氣空氣中，不僅造成周邊大氣環(huán)境空氣污染，還會(huì)對(duì)周邊居民身體健康有傷害，因此，對(duì)濕電子化學(xué)品廢氣進(jìn)行凈化處理后，達(dá)到潔凈空氣排放要求。

濕電子化學(xué)品廢氣怎么處理

2.濕電子化學(xué)品廢氣處理方法

濕電子化學(xué)品在生產(chǎn)過(guò)程產(chǎn)生廢氣主要為氯化氫、氮氧化物、醋酸、VOCs等廢氣污染物，對(duì)于氯化氫、氮氧化物、醋酸等酸性廢氣處理采用間堿洗法即可處理，然而對(duì)于VOCs有機(jī)廢氣處理方法有很多種，常見(jiàn)主要有活性炭吸附法、燃燒法、UV光解凈化法，下面中廣通環(huán)保小編詳細(xì)介紹濕電子化學(xué)品廢氣處理方法。

2.1酸性廢氣處理方法

集氣罩收集酸性廢氣通過(guò)管道輸送進(jìn)入堿洗塔，經(jīng)廢氣洗滌塔酸堿中和處理后，達(dá)到國(guó)家排放標(biāo)準(zhǔn)后排放。

2.2 有機(jī)廢氣處理方法

（1）活性炭吸附法

活性炭吸附法主要原理就是利用多孔固體吸附劑（活性碳、硅膠、分子篩等）來(lái)處理有機(jī)廢氣，這樣就能夠通過(guò)化學(xué)鍵力或者是分子引力充分吸附有害成分，并且將其吸附在吸附劑的表面，從而達(dá)到凈化有機(jī)廢氣的目的。吸附法目前主要應(yīng)用于大風(fēng)量、低濃度（≤800mg/m3）、無(wú)顆粒物、無(wú)粘性物、常溫的低濃度有機(jī)廢氣凈化處理。

活性炭?jī)艋矢撸ɑ钚蕴课娇蛇_(dá)到90%以上），實(shí)用遍及，操縱簡(jiǎn)單，投資低。在吸附飽和以后需要更換新的活性炭，更換活性炭需要費(fèi)用，替換下來(lái)的飽和以后的活性炭也是需要找專業(yè)人員進(jìn)行危廢處理，運(yùn)行費(fèi)用高。

（2）燃燒法

燃燒法只在揮發(fā)性有機(jī)物在高溫及空氣充足的條件下進(jìn)行完全燃燒，分解為CO2和H2O。燃燒法適用于各類有機(jī)廢氣，可以分為直接燃燒、熱力燃燒和催化燃燒。

排放濃度大于5000mg/m3 的高濃度廢氣一般采用直接燃燒法，該方法將VOCs廢氣作為燃料進(jìn)行燃燒，燃燒溫度一般控制在1100℃，處理效率高，可以達(dá)到95％一99％。

熱力燃燒法適合于處理濃度在1000—5000 mg/m3 的廢氣，采用熱力燃燒法，廢氣中VOCs濃度較低，需要借助其他燃料或助燃?xì)怏w，熱力燃燒所需的溫度較直接燃燒低，大約為540—820℃。燃燒法處理VOCs廢氣處理效率高，但VOCs廢氣若含有S、N等元素，燃燒后產(chǎn)生的廢氣直接外排會(huì)導(dǎo)致二次污染。

通過(guò)熱力燃燒或者催化燃燒法處理有機(jī)廢氣，其凈化率是比較高的，但是其投資運(yùn)營(yíng)成本極高。因廢氣排放的點(diǎn)多且分散，很難實(shí)現(xiàn)集中收集。燃燒裝置需要多套且需要很大的占地面積。熱力燃燒比較適合24小時(shí)連續(xù)不斷運(yùn)行且濃度較高而穩(wěn)定的廢氣工況，不適合間斷性的生產(chǎn)產(chǎn)線工況。催化燃燒的投資和運(yùn)營(yíng)費(fèi)用相對(duì)熱力燃燒較低，但凈化效率也相對(duì)較低一些；但貴金屬催化劑容易因?yàn)閺U氣中的雜質(zhì)（如硫化物）等造成中毒失效，而更換催化劑的費(fèi)用很高；同時(shí)對(duì)廢氣進(jìn)氣條件的控制非常嚴(yán)格，否則會(huì)造成催化燃燒室堵塞而引起安全事故。

（3）UV光解凈化法

UV光解凈化法利用高能UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產(chǎn)生游離氧（即活性氧），因游離氧所攜帶正負(fù)電子不平衡所以需與氧分子結(jié)合，進(jìn)而產(chǎn)生臭氧，臭氧具有很強(qiáng)的氧化性，通過(guò)臭氧對(duì)有機(jī)廢氣、惡臭氣體進(jìn)行協(xié)同光解氧化作用，使有機(jī)廢氣、惡臭氣體物質(zhì)降解轉(zhuǎn)化成低分子化合物、CO2和H2O。

UV光解凈化法具有高效處理效率，可達(dá)到95%以上；適應(yīng)性強(qiáng)，可適應(yīng)中低濃度，大氣量，不同有機(jī)廢氣以及惡臭氣體物質(zhì)的凈化處理；產(chǎn)品性能穩(wěn)定，運(yùn)行穩(wěn)定可靠，每天可24小時(shí)連續(xù)工作；運(yùn)行成本低，設(shè)備耗能低，無(wú)需專人管理與維護(hù)，只需作定期檢查。UV光解法因采用光解原理，模塊采取隔爆處理，消除了安全隱患，防火、防爆、防腐蝕性能高，設(shè)備性能安全穩(wěn)定，特別適用于化工、制藥等防爆要求高的行業(yè)。